Das Hitachi SU8600 ist ein Rasterelektronenmikroskop mit kalter Feldemissionsquelle, dass Probenoberflächen abbildet indem es diese mit einem fein fokussierten Elektronenstrahl abrastert und Sekundär- oder Rückstreu-Elektronen zur Abbildung nutzt. Zusätzlich verfügt es über eine energiedispersive Röntgenanalyse (EDX), die es erlaubt die elementare Zusammensetzung der Probe quantitativ zu analysieren. Die Besonderheit des SU8600 ist der Inlense-Detektor, der es in Verbindung mit einer geringen Beschleunigungsspannung erlaubt auch elektrisch nicht-leitfähige Proben zu untersuchen. 

Spezifikationen

SE resolutuion: 0,6 nm bei 15 kV, 0,7 nm bei 1 kV 
EDX resolution: 127 eV @ MnKα / 46eV @ CKα